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正入射光束偏转法超光滑表面光学轮廓仪

SG2004014635 2004-3-15 发明申请

2007-3-20

一种用于诸如磁记录盘之类的超光滑表面的光学轮廓仪，提供了相对于待轮廓化的目标表面的垂直入射光束偏转。第一偏振的线偏振激光在垂直入射方向上聚焦在目标表面上。光束从焦点沿其原始路径反射回来。提供了将反射光束的偏振改变为第二偏振的光学器件。具有第二偏振的反射光束被引导到位置敏感检测器上以进行评估。