光学探针的模块化微光学
 
US15389242  2016-12-22  发明申请

2017-6-29
 
  本发明的一些实施例包括光学探针组件的探针主体。 探针组件可以被设计用于在由坐标测量机的探针头承载的同时测量物体的表面。 所述探针主体包括位于所述探针主体的第一端处的耦合单元,所述耦合单元被设计成将所述探针主体提供到坐标测量机的探针头的耦合,以及光导元件,所述光导元件用于将由所述探针头提供的原始源光从所述耦合单元传输到所述探针主体的第二端。
 
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