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产业专利数据

用于测量基板上结构的坐标测量机

US12220808 2008-7-29 发明申请

2009-2-5

一种用于测量衬底(2)上的结构(3)的坐标测量机(1)，包括可在X坐标方向和Y坐标方向上移动的测量台(20)、测量物镜(9)、用于确定测量台(20)和测量物镜(9)的位置的至少一个激光干涉仪(24)，其中测量台(20)、测量物镜(9)和至少一个激光干涉仪(24)设置在真空室(50)中。