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4
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坐标测量机
US12765401 2010-4-22 发明申请
2010-10-28
一种坐标测量机,具有坐标测量机本体和控制器。 坐标测量机主体具有具有测量件的探针和用于驱动探针的驱动机构。 探针具有用于驱动测量件的驱动单元。 控制器包括第一测量单元和第二测量单元。 所述第一测量单元测量由所述驱动单元驱动的所述测量件的位移。 所述第二测量单元测量所述探针的位移。 所述第二测量单元的测量精度低于所述第一测量单元的测量精度。
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