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激光干涉仪用于可重复所述的真空室壁上安装
AU2003271920 2003-10-3 发明申请
2004-4-23
一激光干涉仪是本发明公开了一种包括一外壳能够被基本上重复地安装到一个壁的的一个环境腔室,所述外壳包括一个激光源,一反射器连接到一个对象位于所述环境内的室,和一个所述环境室提供的光通道通过所述的壁使激光束从所述激光源的通道以所述反射器。至少一个光束steerer可以提供用于调整通道的方向的激光束通过所述光通道。还公开了一种柱激光干涉仪。
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