| 可重复安装在真空室的墙壁上的激光干涉仪 |
| CN200380100920.0 2003-10-3 发明申请 |
| 2005-11-30 |
| 公开了一种激光干涉仪，包括能够基本上可重复 地安装到环境室(26，126)墙壁中的壳体(10，40)，所述壳体包 括激光源(12，112)，反射镜(22，50，122，150)附着于位于环 境室内的对象，以及穿过环境室墙壁提供的光线通路，用于允 许来自于激光源的激光束进入反射镜。可以提供至少一个射束 控制器(56，58，156，158)，用于调节激光束穿过光线通路的 通过方向。还公开了一种柱形激光干涉仪。 |
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