| 工业用机械 |
| CN201110218335.7 2011-8-1 发明申请 |
| 2012-2-8 |
| 本发明提供一种工业用机械,该工业用机械是三维测量机(1),其包括:沿着Z轴的立柱(221)以及支柱(225);滑动件(223),其能够在被设在该立柱与支柱之间的梁(222)上移动;杆件(224),其能够沿着Z轴方向移动地被保持在滑动件上;温度检测传感器(226)以及温度检测部(32),该温度检测传感器以及温度检测部用于对立柱(221)、支柱(225)、杆件(224)的各自的温度进行检测;偏移量算出部(33),其根据上述的立柱(221)、支柱、杆件的各自的温度、表示上述的立柱、支柱、杆件的在基准温度条件下的位置关系的基准位置数据、上述的立柱、支柱、杆件的各自的热膨胀系数算出上述Z轴偏移量。 |