| 多功能芯片硬度测试设备 |
| CN202011508782.1 2020-12-19 发明申请 |
| 2021-5-7 |
| 本发明涉及一种多功能芯片硬度测试设备，包括硬度测试装置、清洁装置及除尘装置，其中，硬度测试装置包括驱动件、压痕器及硬度测试仪，所述驱动件驱动压痕器挤压芯片，所述硬度测试仪根据压痕器挤压芯片状况获取芯片硬度；清洁装置用于去除芯片表面产生的压屑，除尘装置用于收集所述清洁装置去除的压屑。上述多功能芯片硬度测试设备，通过硬度测试装置检测芯片硬度后由清洁装置去除芯片上的压屑，除尘装置收集清洁装置去除的压屑，从而完成芯片的硬度检测及清洁。 |
微信公众号