| 基板安装板机构用于一个位置测量仪器中使用 |
| DE102005052758 2005-11-4 发明申请 |
| 2007-5-16 |
| 本发明涉及一种基板安装板机构(41)，用于使用在一个位置测量仪器(1)用于调节所述一基板的位置(30，45)，其中所述基板的安装板机构(41)一个携带，通过装置的一个激光干涉仪系统(29)，其中该基片安装板机构(41)具有一个可移动表的结构(26，42)以及作为一个表结构牢固地分配表镜(9，43)用于所述的反射激光束的所述激光干涉仪系统(29)，由此被建议使所述measuringcritical，每个所述衬底的其它空间上牢固地分配部件安装板机构(41)所述的连接链表中的反射镜(9，43)到衬底(30，45)从材料结构被制造的，它们的模量在所述的最15%的周围弹性的所述基板(30，45)偏离。从而所述的负空气压力波动的影响可被强烈地降低所述激光干涉的位置上测量。 |
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