| 坐标测量机和用于确定所述横向校正的过程作为一个功能所述衬底的拓扑 |
| DE102007036815 2007-8-3 发明申请 |
| 2009-2-12 |
| 它是一种坐标测量机(1)和一用于所述确定的所述横向校正过程揭示了一种所述基板的功能的拓扑和\/或所述基板的几何形状上拥有者。所述基板(2)被放置在上一X-koordinatenrichtung和Y-坐标方向移动的测量表中(20)，其中所述基板，其可以被测量(2)携带。所述基板(2)的至少三个关键点(30)，其中一个电平(20a)指定，保持。一个机构(9)，那些被打算该表面上的多个位置的所述的位置(2a)的所述衬底(2)确定在X，Y和Z坐标方向。所述基板(2)周围被旋转一个与所述X\/Y电平(20a)平行的轴(70)，使得所述基板(2)在一打开位置是可测量的。 |
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