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真空相容的激光干涉仪

GB0222970 2002-10-4 发明申请

2002-11-13

本发明公开了一种激光干涉仪包括壳体可基本上可重复地安装到墙壁的环境室，所述壳体包括激光源，一种反射镜和附着于物体位于环境箱，和光穿过环境室通道壁的激光束从激光源到反射器。至少一个射束控制器可以提供用于调节激光束的通道的方向通过光通道。本发明还公开了一种柱形激光干涉仪。