一激光干涉仪
 
IN1140DELNP2005  2005-3-22  发明申请

2009-3-20
 
  一激光干涉仪包括 : 一壳体(10,40)具有一个激光源(12,112); 一种reflector(22,50, 122, 150)用于attachment到一个对象位于一环境内腔室; 其中所述壳体具有一可拆卸安装,使得所述壳体从和基本上重复地安装以一阱的环境室,使得一个激光束从所述激光源可通过一本发明提供的光通道通过所述壁的所述环境室到所述reflector。
 
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