| 激光干涉仪。 |
| EP95300817 1995-2-9 发明申请 |
| 1995-8-23 |
| 一激光干涉仪,用于测量位移在长的距离(E。G。100米)包括一整体激光器\/检测器单元10,其发射一激光束12的光。该分数的所述光束12b通过undiverted通过分束器14被横向移动,通过一个潜望镜18,其是位于靠近该激光10。通道通过所述潜望镜18后,所述undiverted光束被入射在一个大的后向反射器20,其尺寸是使得所述后向反射器反射的光束20是通过一个横向移位的量大于所述的横向位移由于以所述光束的通过所述潜望镜通道18。不透明的外壳26所述潜望镜18是用于以屏幕反射的光从入口到所述激光腔。 |