| 扫描电镜的二次电子检测方法及扫描电镜 |
| JP2022031081 2022-3-1 发明申请 |
| 2022-5-13 |
| 对象： 对于扫描电子显微镜的二次电子检测方法和扫描电子显微镜， 本发明的目的是在低真空中向样品表面上产生的二次电子施加不放电的范围内的加速电压以垂直加速， 并且通过在检测范围内运行来改善图像的SNR。 [结构]设置在物镜和可移动地保持在样品室中的样品之间的用于窄挤压电子束的小孔径，以及单独产生的第二电子束与样品室中的气体碰撞以电离正离子和负离子。 它由离子发生器组成，该离子发生器以足以中和由电子束辐照产生的负电荷和正电荷的量辐照样品室中的样品表面。 “选择图”图1 |
微信公众号