| 正交轴系统的正交性的测量装置和方法 |
| CN202111491874.8 2021-7-29 发明申请 |
| 2022-3-1 |
| 本发明描述了一种正交轴系统的正交性的测量装置和方法,正交轴系统包括第一旋转轴和能够绕着第一旋转轴旋转的第二旋转轴,测量装置包括:用于放置正交轴系统的承载平台、移动机构和设置于移动机构的测量仪,测量仪配置为:对沿着截取面截取第二旋转轴获得的第一虚拟截面进行测量以获得第一位置,对沿着截取面截取第二旋转轴获得的第二虚拟截面进行测量以获得第二位置;截取面与承载面以及第二旋转轴在承载面的投影正交;移动机构配置为控制测量仪在第一虚拟截面和第二虚拟截面中移动;并且通过第一位置和第二位置判断正交轴系统的正交性。根据本发明,能够提供一种提高正交轴系统的正交性的测量精度的测量装置和方法。 |