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透射电子显微镜
JP2022034921 2022-3-8 发明申请
2022-5-13
本发明提供一种透射型电子显微镜,即使在将透过保持膜的电子束用作基准波的情况下,也能够提高相位图像的分辨率。 [解决方案]发射电子束的电子源, 样品保持部分,其保持由电子束照射的样品,作为透射过样品的电子束的目标波,以及作为具有不同于目标波的路径的电子束的电子束。 其特征在于,其包括去除元件,该去除元件去除包含在参考波中的高于预定空间频率的分量。 “选择图” 1
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