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真空室壁可以重复用于安装激光干涉仪

JP2004541003 2003-10-3 发明申请

2006-1-12

激光干涉仪明公开了一种包括壳体可基本上可重复地安装到墙壁的环境室，所述壳体包括激光源，附带的反射镜到一个物体位于环境箱，和光穿过环境室通道壁的激光束从激光源到反射器。至少一个射束控制器可以提供用于调节通道的方向的激光束通过光通道。本发明还公开了一种柱形激光干涉仪。