| 用于确定扫描探针显微镜系统中的悬臂偏转的装置和方法。 |
| WONL21050675 2021-11-3 发明申请 |
| 2022-5-12 |
| 本发明涉及一种用于确定扫描探针显微镜系统中的悬臂偏转的装置。 该系统包括支撑探针的扫描头，探针包括悬臂和探针尖端，探针尖端包括镜面反射表面。 该装置包括用于提供光束的光源。 光束照射到镜面反射表面上。 光学传感器接收来自镜面反射表面的反射光束，在传感器上形成光斑。 光学传感器提供传感器信号，从该传感器信号可获得传感器上的光斑的位置信息。 光学传感器包括光电二极管元件的阵列。 每个光电二极管元件被配置为提供将被包括在传感器信号中的光电二极管信号， 并且包括光敏表面，该光敏表面在横向于光束方向的平面中具有小于反射光束的横截面积的有效面积尺寸。 因此，有效面积小于光斑的尺寸。 |
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