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可重复安装在真空室壁上的激光干涉仪
US11089007 2005-3-24 发明申请
2005-10-13
本发明公开了一种激光干涉仪,其包括能够基本上可重复地安装到环境腔室的壁上的壳体,所述壳体包括激光源,附接到位于所述环境腔室内的物体的反射器,以及设置成穿过所述环境腔室的壁使得激光束能够从所述激光源通过到所述反射器的光通道。 可以设置至少一个光束导向器,用于调节激光束通过光通道的通过方向。 本发明还公开了一种柱式激光干涉仪。
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