| 基于线性标尺的测量配置，所述线性标尺能够测量也垂直于测量轴移动的目标 |
| US11569648 2005-5-27 发明申请 |
| 2008-2-21 |
| 激光干涉仪和高质量线性编码器都是在高精度机器中使用的有竞争力的线性测量系统。 平面激光干涉测量允许对垂直于测量方向移动的目标进行测量，并将激光束设置成与功能点一致。 以这种方式，可以避免测量系统的堆叠，并且可以配置符合阿贝原理的测量配置。 另一方面，已知激光干涉测量对环境变化敏感。 作为替代，使用高质量的线性标尺。 线性标尺的一个缺点是只允许目标沿着测量轴移动。 对于在几毫米以上的范围内沿多于一个方向平移的目标，这导致几个线性标尺与支撑载片一起的简单堆叠。 这种间接测量方法引入了误差，并且部分地破坏了由现代线性标尺提供的精确度。 本专利描述了一种基于线性标尺的测量概念，其将线性标尺典型地对环境变化的稳定性与对也在垂直于测量轴的方向上移动的目标进行测量的能力相结合，所述方向典型地用于平面镜激光干涉测量。 对于不能保证稳定和均匀气氛并且在运动过程中应当进行测量的多轴机器，测量概念特别有意义。 |
微信公众号