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一种透射电镜样品载网
CN202011142254.9 2020-10-22 发明申请
2022-5-10
本公开提供一种透射电镜样品载网。本公开的透射电镜样品载网包括:基底,以及位于所述基底一侧向外延伸的至少一个附着部,所述附着部用于附着透射电镜样品;所述附着部的至少一侧边呈阶梯状。该方案的优点在于:可以大量制作透射电镜样品附着于载网附着部上;使用FIB进行半导体研发分析的产能增加;对于FIB和TEM分析,降低了分析周期,提高了研发效率。
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