| 激光干涉仪用于可重复所述的真空室壁上安装 |
| WOGB03004361 2003-10-3 发明申请 |
| 2004-4-15 |
| 一激光干涉仪是本发明公开了一种包括一壳体(10，40)能够被基本上重复地安装到一个壁的的一个环境室(26，126)，所述外壳包括一个激光源(12，112)，一反射器(22，50，122，150)附着以一个对象位于所述环境内的室，和提供一个光通道通过所述壁的所述环境室使通道的一激光束从所述激光源到该反射器。至少一个光束steerer(56，58，156，158)可以被提供用于调整方向的通道的一个激光束通过所述光通道。还公开了一种柱激光干涉仪。 |
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