| 激光干涉仪，以及作为用于其校准过程和使用 |
| DE602007000632 2007-8-22 发明授权 |
| 2009-4-16 |
| 一个光学轴偏转式激光干涉仪包括一个基准球作为一个测量基准，一种retroreflectingmeans设置在一个待测物体，一激光干涉仪的长度测量装置，其输出测量值根据增加或一在所述的装置和所述后向反射装置之间的距离减小，和一旋转机构旋转的一束投射从所述激光干涉仪的长度测量装置绕所述基准球。所述由此构造的激光干涉仪测量所述激光干涉仪和该回归反射装置之间的距离使一种outgoingbeamprojected从所述激光干涉仪的光学轴长度测量装置安装在所述的旋转机构和一个光的返回光束返回到所述激光干涉仪的轴平行于每个其它长度测量装置，基于该基准球的中心坐标。所述激光干涉仪，其特征在于另外包括一位移计，其引起的误差测量通过一相对该基准球和所述激光干涉仪之间的运动长度测量装置，和一个直线运动机构而位移的这些在一个测量光束的光轴的方向与相对于该基准球，同时保持所述激光干涉仪之间的相对位置关系长度测量装置和所述位移计。具有这种结构，它使用成为可能，以校准所述位移计，以正确的一误差在该方向所述的光学轴线从所述的运动精度产生的所述两个轴的旋转机构与相对于该基准球所述的光学轴的偏转式激光干涉仪，而无需制备一种特殊的校准装置，所述操作仪上。作为结果，追溯被固定。 |
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