| 坐标测量机使用机械扫描 |
| EP09153020 2009-2-17 发明申请 |
| 2009-8-26 |
| 一扫描测量仪器能够同时达到较高的精度和较高的自主中的扫描速度测量。该仪器包括一个路径信息保持单元，用于保持关于所述的中心位置的所述路径信息一个扫描探针的尖端在过去的尖端中心位置与相对于该电流尖端中心位置，在自主与所述扫描探头进行扫描测量; 一个路径基准方向设定单元，用于设定一个近似直线方向的路径作为一个路径参考方向; 一个行驶方向设定单元，用于所述路径设定参考方向作为一个行驶方向; 一个运动控制单元，用于控制一移动单元在所述行进，使得所述扫描探头被移动方向; 和一个正常方向设置单元，用于设定该测量表面的法线方向根据所述行进方向。 |
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