| 一种双束扫描电镜真空冷冻传输装置 |
| CN202121878644.2 2021-8-11 实用新型 |
| 2022-5-10 |
| 本实用新型涉及一种双束扫描电镜真空冷冻传输装置，包括真空样品腔门、样品传输管、冷冻样品传输杆和角度调节装置。真空样品腔门密封连接于真空样品腔室的开口处，并设有样品传输窗口，样品传输管密封连接于样品传输窗口位置，与真空样品腔室连通。冷冻样品传输杆穿设于样品传输管内，外周与样品传输管动密封连接，用于将冷冻样品输送至真空样品腔室内，冷冻样品传输杆的端部能够与样品传输管卡接和/或解除卡接。角度调节装置设于真空样品腔门上，与样品传输管连接，当冷冻样品传输杆与样品传输管卡接时，角度调节装置适于带动样品传输管和冷冻样品传输杆同步转动，调节冷冻样品的倾转角度，满足冷冻样品的离子束加工和扫描电镜成像的需求。 |
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