坐标测量机
 
EP09159478  2009-5-6  发明申请

2009-11-18
 
  一个坐标测量机(1)包括 : 一个探针(21)具有一个测量件; 一移动机构(22),其效果一扫描运动的所述探头(21); 和一个主机计算机(5)用于控制所述移动机构(22)。所述主机计算机(5)包括一位移获取单元(52),用于获取所述移动机构(22)的一位移和一个测量值计算单元(53)用于计算测量值。该测量值计算单元(53)包括一个校正量计算单元,用于计算一个校正量用于校正一个所述测量位置的误差件和一校正单元,用于基于所述测量片的所述位置误差校正在所述位移的所述移动机构(22)和所述校正量。所述校正量计算单元计算一个翻译-用于校正所述探针的平移误差校正量(21)在一所述探针上的参考点(21)和一旋转-校正用于校正所述探头的一个旋转误差量根据所述探头(21)的旋转角度围绕所述基准点和所述探针的长度(21)从所述参考点到所述测量件。
 
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