| 坐标测量机 |
| JP2008125980 2008-5-13 发明申请 |
| 2009-11-26 |
| 要解决的问题 : 以提供一个三-维测量机能够正确地测量的一个误差校正的值。溶液 : 这三-维测定机1包括 : 一探针21提供与一个测量件; 一移动机构22用于执行复制所述探头21的运动; 和一个主机计算机5用于控制所述移动机构22。所述主机计算机5包括一用于获取所述位移的位移获取单元52所述移动机构22; 和一个测量值计算单元53用于计算测量值。该测量值计算单元53包括一个校正量计算单元，用于计算校正量用于校正所述所述测量片的位置误差，和一个校正单元，用于校正所述测量片的所述位置误差，基于在所述移动机构22和所述校正的所述位移量。所述校正量计算单元计算该平移-用于校正所述的平移误差校正量的所述探头21在一个参考点设置在所述探头21，和一个旋转-校正用于校正所述探头21所述的旋转误差量; 根据一个所述探头21的旋转角度围绕所述基准点和所述探针的长度21; 从所述参考点到所述测量件。版权 : (C)2010，inpit |
微信公众号