| 坐标测量机 |
| JP2020009852 2020-1-24 发明授权 |
| 2022-7-7 |
| 本发明提供了一种具有高可见性并能进行精确测量的三维测量机。 一种三维测量机，用于通过探针测量放置在具有平行于X轴和Y轴的工件放置表面的面板上的工件，包括：具有探针的Y轴移动体； Y轴直线运动引导件，其是沿Y轴设置在高于面板的位置处的Y轴直线运动引导件，并且支撑Y轴移动体的一端，以便在Y轴方向上可移动； Y轴驱动装置，使Y轴移动体沿导轨移动； 以及空气轴承，该空气轴承以面板的一部分为导向面浮动地支承Y轴移动体的另一端。 |
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