| 用于3D计量应用的MEMS可调谐VCSEL供电的扫描源OCT |
| US17123979 2020-12-16 发明申请 |
| 2021-4-8 |
| 本发明公开了一种光学探头系统，其能够对工程对象进行高速，高精度和高分辨率的3D数字化。 使用具有改进的速度，空间分辨率和深度范围的扫描源光学相干层析成像系统来测量工程对象的三维数据。 还公开了一种能够执行工程对象的高速，高分辨率和非接触测量的坐标测量机(CMM)。 将传统CMM的触摸触发探头中的机械触针替换为直径和长度可重构的光学触针。 通过光学调节光学触针中心到测量探头的距离，快速匹配被测物体的高度，消除了探头的一维移动，大大提高了生产率。 |
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