坐标测量机
 
US12453245  2009-5-4  发明申请

2009-11-19
 
  一种坐标测量机,包括 : 具有测量件的探针; 实现所述探针的扫描移动的移动机构; 以及用于控制移动机构的主机。 主机包括用于获取移动机构的位移的位移获取单元和用于计算测量值的测量值计算单元。 所述测量值计算单元包括 : 校正量计算单元,用于计算用于校正所述测量件的位置误差的校正量;以及校正单元,用于基于所述移动机构的位移和所述校正量来校正所述测量件的位置误差。 修正量计算单元根据探针绕基准点的旋转角度和探针从基准点到测量件的长度,计算用于修正探针在探针上的基准点处的平移误差的平移修正量和用于修正探针的旋转误差的旋转修正量。
 
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