产业专利数据
 
二次电子探针，二次电子检测装置和扫描电子显微镜检测装置
 
JP2021068717  2021-4-14  发明授权
2022-5-10
 
  本发明提供一种使用电子吸收率几乎为100%的二次电子探针的二次电子检测器。 二次电子探针10包括具有纳米或微米级的微小间隔的多孔碳材料层102， 多孔碳材料层102由碳纤维，碳微丝，碳纳米管，碳纳米球构成，是由任意一种或多种碳微球颗粒组成的形成碳纳米管阵列或碳纳米管网络结构的电子黑体。 “选择图” 1
 
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