| 电子显微镜用试样保持用层叠体及电子显微镜用层叠体收纳单元 |
| JP2020176414 2020-10-21 发明申请 |
| 2022-5-9 |
| 本发明的课题在于提供一种试样保持层叠体，该试样保持层叠体降低一对Si芯片堆叠体中的相对的SiNx膜的隆起程度，提高LC-S/TEM图像质量。 溶液： 它包括用于容纳成像目标样品的样品保持上装置10和样品保持下装置20， 以及用于保持样品保持上装置10的相对表面和样品保持下装置20的相对表面之间的间隙的间隔件24， 在试样保持上部装置的对置面和试样保持下部装置的对置面安装试样保持空间， 上电子透过膜窗口和下电子透过膜窗口对齐，使得通过扫描/透射电子显微镜发射的电子束通过。 发射到扫描/透射电子显微镜中的电子束透射通过容纳在样品保持空间30中的成像目标样品32，并用于使成像目标样品32的扫描/透射电子显微镜图像成像。 “选择图”图5 |
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