| 坐标测量机和用于nichtlinearitten所述的校正过程的一个坐标测量机的所述干涉仪 |
| DE102007036850 2007-8-6 发明申请 |
| 2009-2-19 |
| 一种方法和一种坐标测量机(1)被提供，其中所述的非线性干涉仪(24)可以被校正。一种测量阶段(20)一个平面中的装置(25a)是提供用于测量。所述基板(2)被放置在一测量阶段(20); 其中该位置所测量的级(20)沿每个所述运动的轴是由至少确定一个干涉仪(24)在每种情况下。一计算机(16)被提供用于补偿所述非-线性度的每个中固有的所述干涉仪(24)，其中所述位置所述测量的级(20)要确定由所述干涉仪(24)是沿着一个轨迹设置(52，60，67)。所述测量的级(20)，它是由至少部分的所述轴的分量。 |
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