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产业专利数据

多坐标测量机

DE3334460 1983-9-23 发明申请

1985-4-11

本发明涉及多坐标测量机与位移路径干涉测量检测的每个的测量轴。每个测量轴上设有至少一个干涉仪头由分束器，参考镜和光电探测器。干涉仪头提供的单模光纤从单个固定激光发生器。