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多坐标测量机

DE3470948 1984-8-28 发明授权

1988-6-9

本发明涉及一种多坐标测量机，其具有对每个测量轴中的位移路径的干涉式检测。每个测量轴上至少有一个干涉仪头，干涉仪头由分束镜，参考镜和光电探测器组成。干涉仪头由来自单个固定激光发生器的单模光纤提供。