| 激光跟踪干涉仪 |
| EP06013532 2006-6-29 发明申请 |
| 2007-2-7 |
| 一激光跟踪干涉仪引导激光束以一后向反射器服务作为一种待测物体到读出一种使用干扰所述后向反射器与一激光束的位移背反射从所述后向反射器以及作为到轨道所述后向反射器使用一个在所述的光学轴的位置变化所述激光束。所述激光跟踪干涉仪包括 : 一参考球面设置在一固定位置; 一滑架配置成围绕一个中心转动的该基准球; 一激光干涉仪，用于提供一位移信号对应于一个所述后向反射器的位移，和一个位移计用于提供一位移信号对应于该基准球和所述位移之间的相对位移计，所述激光干涉仪和所述位移计被设置在所述滑架; 一数据处理装置，用于计算一个所述后向反射器的位移相对于该基准球在根据提供与所述位移信号通过所述位移计和所提供的所述激光干涉仪位移信号; 一个用于提供一位置信号对应的位置敏感检测器到所述激光束的偏差的量当所述激光束被反射离开所述后向反射器回所述激光干涉仪和在一个方向偏离正交以其光学轴; 和一个控制器，用于基于所述滑架在所述的旋转位置信号控制从所述位置检测器，从而使所述量的偏差变为零。这使得所述激光跟踪干涉仪是鲁棒到所述偏离的所述的旋转机构。所述激光跟踪干涉仪是缺陷的影响更小和该基准球的表面上的灰尘颗粒; 和是能够采用一种相对便宜的参考球面的。 |
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