| 一种坐标测量机使用递归滤波的动态监控 |
| EP13153991 2013-2-5 发明申请 |
| 2014-8-6 |
| 本发明涉及一种用于提供动态状态信息的方法，用于在一个坐标测量的至少一部分机，该坐标测量机包括一基座，一探针头，一机结构与结构部件，用于连接所述探针头与所述基和至少一个驱动机构，用于提供所述探针头的相对迁移率，以所述基。一种动态模型是状态变量的定义与实际设定，该状态变量是相关于一组物理特性的至少所述部分的该坐标测量机和表示一个实际的状态至少该部分的所述的坐标测量机“和所述的至少所述部分的实际状态所述导出的坐标测量机是由一个计算基于所述动态模型，根据本发明，一滤波与所述的动态过程被执行的模型与导出一基于预测变量的设置在该状态变量，所述预测变量的至少所述部分描述的一个期望的接近状态的所述坐标测量机，测量在至少一个所述状态变量的和确定一个基于所测量的观测数据的设定，导出一组的连续通过比较所述设定状态变量与所述的观测数据组的预测变量的和更新所述动态模型使用所述的连续状态变量作为所述实际设定的设定状态变量。 |
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