| 干涉非接触式探头和测量 |
| EP15865419 2015-12-3 检索报告 |
| 2018-6-13 |
| 一种非接触式探头(10，32，36)，利用光学基准面(18，34，38)突出的弯曲波前测试(T)的朝向测试表面(S)上产生弯曲，并对其检测干涉条纹(16)的局部空间的前方参考面。当待测点的测试表面(S)与该条纹的位置，条件检测探针。由于所述条纹(16)被定位在空间中的已知位置相对于基准系统，表面的精确坐标点可以建立。这样局部光谱条纹优选通过可控光源(12)。该条纹的曲率，保证足够大的角度捕获探针的接受反射的光高面坡点。特别适合用于坐标测量机探头。 |
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