| 激光干涉仪 |
| JP07030996 1995-2-20 发明申请 |
| 1995-10-13 |
| 目的 : 提供一激光干涉仪，其可以防止背景反射，而不使用一个光隔离器，即使如果一个移动后向反射器被移动相对较大。结构 : 一激光干涉仪包括一个激光器\/检测器单元10用于振荡的激光束12被用于测量该运动上延伸的一长的距离(E。G。100am)，和一些激光束12b的直线前进，因为它是通过一分束器14被移动侧向由一个潜望镜18相邻设置，以所述激光器\/检测器单元10。所述激光束穿过所述潜望镜18进入一后向反射器20用于移动激光束向侧向多个大大比所述滑道引起的位移通过穿过所述潜望镜18被再次反射到所述分束器14侧。一个不透明的外壳26所述潜望镜18是用于屏蔽的背景反射从入口到所述所述激光器腔的内部。 |
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