产业专利数据
 
光纤的零差激光干涉仪
 
JP2007322903  2007-12-14  发明申请
2008-5-8
 
  要解决的问题 : 以提供一种光纤的零差激光干涉仪，其具有一简单的结构和可执行一悬臂的精确检测。溶液 : 所述光纤的零差激光干涉仪具有一种微悬臂梁检测光学系统用于定位激光点到一种微悬臂梁169。版权 : (C)2008，inpit
 
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