| 非接触式探头和测量干扰。 |
| JP2017529393 2015-12-3 发明申请 |
| 2018-1-18 |
| 非接触式探头(10)，32，36)，在照射检查面(T)(s)向检查参考波前(18，34，38)，使用时，曲面(16)产生的干涉条纹来检测(S)。(16)干涉条纹呈弯曲状，所述基准表面的前方空间局部性的。测量干涉条纹检查表面(S)上的位置应的点处相交，这样检测的探针。(16)局部空间中的已知位置参考系统的干涉条纹，确切的表面上的点的坐标来确定。这样局部干涉条纹，优选地，光源(12)产生的光谱可控。该干涉条纹的曲率，一种大表面反射的光点梯度接收角度足够大，以保证捕捉探针。特别适合用于坐标测量机的探头。图[图3] |
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