| 跟踪式激光干涉仪频率计 |
| JP2009216426 2009-9-18 发明授权 |
| 2013-12-11 |
| 跟踪式激光测干涉仪，包括 : 第一递归反射器2配置成反射灯光平行于入射光; 第二递归反射器3连接到测量对象W; 主体部(4)被构造成引导从激光光源发出的光LS第一递归反射器2; 旋转机构5构造成旋转的主体部4; 和控制单元6，被配置成控制所述旋转机构基于该光出射从主体部分4和第二处反射的递归反射器3，其中 : 主体部分4包括光接收元件92被配置成接收反射的光在第一递归反射器2和检测的位置接收到的光线; 和控制装置6包括 : 角度取得单元63，被配置为获取旋转角度的旋转机构5; 和校正单元64被配置为校正运动误差的旋转机构(5)。 |
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