| 用于3D计量应用的MEMS可调谐VCSEL电源扫描OCT |
| US15469036 2017-3-24 发明申请 |
| 2017-9-28 |
| 本发明公开了一种能够对工程对象进行高速、高精度、高分辨率三维数字化的光学探针系统。 使用具有改进的速度、空间分辨率和深度范围的扫描源光学相干层析成像系统来测量工程对象的3D维数据。 还公开了一种能够对工程对象进行高速、高分辨率和非接触测量的坐标测量机(CMM)。 在传统三坐标测量机的触发器探头中，机械触针被具有可重构直径和长度的光学触针所取代。 光学触针中心到测量探头的距离被光学地调节以与待测对象的高度快速匹配，这消除了探头的一维移动，并大大提高了生产率。本发明的光学触针中心到测量探头的距离被光学地调节以与待测对象的高度快速匹配，从而消除了探头的一维移动，并极大地提高了生产率。 |
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