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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

激光跟踪干涉仪

US11458533 2006-7-19 发明申请

2007-2-1

激光跟踪干涉仪；可绕参考球的中心旋转的滑架；提供回射器位移信号的激光干涉仪和提供位移信号的位移计。数据处理设备计算逆反射器相对于参考球的位移。位置敏感检测器提供对应于激光束从回射器反射回激光干涉仪并在垂直于其光轴的方向上偏移时激光束的偏移量的位置信号。控制器基于来自位置检测器的位置信号控制滑架的旋转，使得偏差量变为零。