| 跟踪式激光干涉仪 |
| US12884700 2010-9-17 发明申请 |
| 2011-3-24 |
| 一种跟踪型激光量规干涉仪，包括 : 第一递归反射器，配置成反射平行于入射光的光； 附接到测量对象的第二递归反射器； 主体部分，被配置为将从激光光源发射的光引导到所述第一递归反射器； 旋转机构，被配置为旋转所述主体部分； 以及控制单元，被配置为基于从所述主体部分射出并在所述第二递归反射器处反射的光来控制所述旋转机构，其中 : 所述主体部分包括光接收元件，被配置为接收在所述第一递归反射器处反射的光并检测所接收的光的位置； 并且所述控制装置包括 : 角度获取单元，被配置为获取所述旋转机构的旋转角度； 以及校正单元，被配置为校正旋转机构的运动误差。 |
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