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产业专利数据

多坐标测量机

US06651592 1984-9-18 发明授权

1987-3-3

本发明涉及一种多坐标测量机，其干涉检测每个测量轴中的位移路径。每个测量轴上设有至少一个干涉仪头，干涉仪头由分束器、参考反射镜和光电探测器组成。干涉仪头由单个固定激光发生器的单模光纤提供。