| 测量物体大距离位移的激光干涉仪 |
| US08389046 1995-2-15 发明授权 |
| 1997-6-10 |
| 一种用于测量长距离(例如100米)上的位移的激光干涉仪,包括发射激光束12的集成激光器/检测器单元10。 光束12b的未偏转通过分束器14的部分被定位在激光器10附近的潜望镜18横向移位。 在通过潜望镜18之后,未转向的光束入射到大的回射器20上,该回射器20的尺寸使得由回射器20反射的光束横向位移大于由于光束通过潜望镜18而引起的横向位移。 潜望镜18的不透明外壳26用于屏蔽进入激光腔的反射光。 |