| 干涉式非接触光学探头和测量 |
| WOUS15063588 2015-12-3 发明申请 |
| 2016-6-9 |
| 非接触式光学探头(10，32，36)利用光学基准表面(18，34，38)突出的弯曲测试波前(T)的朝向测试表面(S)，并对其检测通过创建曲面干涉条纹(16)的局部前方的空间中的参考面。当待测点在测试表面(S)条纹相交的位置，条件检测的探针。由于所述条纹(16)定位在空间中的已知位置相对于基准系统，表面点的精确坐标可被建立。这样局部条纹优选通过频谱可控光源(12)。该条纹的曲率保证了足够大的角度的接受探针捕获反射的光从点高面坡；所述探头尤其适用于坐标测量机。 |
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