| 一种多光束激光共交扫描轮廓仪 |
| CN201510518614.3 2015-8-21 发明申请 |
| 2015-12-23 |
| 本发明公开了一种多光束激光共交扫描轮廓仪，旨在解决传统激光共焦扫描轮廓仪结构中工作距离和分辨率不能兼顾的问题。本发明采用多束独立激光共交于一点定位的原理，通过探测器捕捉交点位置实现被测对象逐点扫描。多光束布置结构可以有效地减少扫描盲区。本发明涉及的激光共交扫描轮廓仪包括多套独立光路结构，每套光路结构分别由光源以及光源孔径组成；光路结构对称布置；激光器发出的光源分别通过各自的光源孔径形成点光源，确保每个点共交于一点实现被测物体的逐点扫描；反射光通过探测孔径到达探测器，通过光信号强弱变化规律确定共交点实现轮廓测量。 |
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