| 一种对入射角不敏感的直线度干涉测量装置 |
| CN202011564821.X 2020-12-25 发明申请 |
| 2021-5-11 |
| 本发明提供了一种对入射角不敏感的直线度干涉测量装置，包括干涉仪主机系统、双渥拉斯顿棱镜、双面直角屋脊反射镜和探测接收单元，所述干涉仪主机系统包括激光发射光学系统，所述激光发射光学系统发射测量光束，经过所述双渥拉斯顿棱镜后分成两束正交偏振的光，经过所述双面直角屋脊反射镜反射后回到所述探测接收单元进行干涉信号的解析，并得到相对距离信息。本发明的有益效果是：采用双渥拉斯顿棱镜作为直线度干涉镜，可以实现入射光角度不敏感，尤其在垂直度测量应用中能够显著提高测量精度；采用可调剪切差的平行光束偏光元件，可以消除现有直线度干涉测量装置存在测量盲区的问题。 |
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